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電真空器件用陶瓷三次金屬化釬料層燒結(jié)工藝的研究

放大字體  縮小字體 發(fā)布日期:2018-07-07  作者:葛春橋 1 ,朱惠沖 2 ,王賢友 1 ,劉頌輝 3  瀏覽次數(shù):618
 
核心提示:摘 要:通過掃描電鏡 SEM 與 EDS 等分析工具研究氧化鋁陶瓷表面三次金屬化的燒結(jié)工藝。結(jié)果表 明,陶瓷表面三次金屬化的燒結(jié)溫度與燒結(jié)氣氛對釬料層的結(jié)合狀況與表面形貌產(chǎn)生重要的影響。820℃ 與干氫的燒結(jié)工藝適合釬料層與鎳層的結(jié)合。過高的燒結(jié)溫度與濕氫燒結(jié)條件易在釬料層與鎳層之間產(chǎn) 生縫隙,甚至凸起或凹坑,嚴(yán)重影響三次金屬化的燒結(jié)質(zhì)量。
 
 
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