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電真空器件用陶瓷三次金屬化釬料層燒結工藝的研究
發布日期:2018-07-07 作者:葛春橋 1 ,朱惠沖 2 ,王賢友 1 ,劉頌輝 3 瀏覽次數:
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關鍵詞:
氧化鋁陶瓷;三次金屬化;燒結;濕氫;電真空
核心提示:摘 要:通過掃描電鏡 SEM 與 EDS 等分析工具研究氧化鋁陶瓷表面三次金屬化的燒結工藝。結果表 明,陶瓷表面三次金屬化的燒結溫度與燒結氣氛對釬料層的結合狀況與表面形貌產生重要的影響。820℃ 與干氫的燒結工藝適合釬料層與鎳層的結合。過高的燒結溫度與濕氫燒結條件易在釬料層與鎳層之間產 生縫隙,甚至凸起或凹坑,嚴重影響三次金屬化的燒結質量。
右擊目標另存為:
電真空器件用陶瓷三次金屬化釬料層燒結工藝的研究_葛春橋.pdf
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