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燒結工藝對ITO 靶材致密度與電阻率的影響

發布日期：2015-10-15 作者：張明杰，陳敬超，彭平，于杰瀏覽次數：174

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關鍵詞： 燒結溫度；升溫速率；燒結時間；氣氛壓力；電阻率

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