在芯片制造過程中，不僅需要用到光刻機、硅片等核心設備或材料，還需要用到一種特殊氣體，業內稱之為電子特氣。

電子特氣廣泛應用于半導體制造的各個工藝流程，參與幾乎每一個環節，對整個芯片制造來說不可或缺，有半導體制造的“血液”之稱。

近年來芯片國產化程度不斷提升，電子特氣作為關鍵領域，也在加快推進國產化進程。

氪氣是電子特氣家族的一員，它作為刻蝕氣體貫穿整個芯片刻蝕過程，起著清潔刻蝕表面雜質和保護電路不被氧化的作用。

近日，由河鋼邯鋼研發生產的電子特氣產品“芯片氪”，交付高端科技客戶，質量完全滿足客戶需求。該產品將作為刻蝕氣體替代進口產品，用于制造IDM集成電路芯片，助力芯片國產化。

氪氣的純度會影響到集成電路性能等關鍵指標，所以用于芯片制造的氪氣對純度要求極高，生產工藝難度大。隨著芯片制程的微縮，半導體生產對“芯片氪”等電子特氣的純度提出了更高的要求，而這類高端電子特氣領域長期被國外壟斷，進口價格昂貴。

國產“芯片氪”等電子特氣替代進口，可降低國產芯片產業制造成本，有助于提高國產芯片在全球芯片產業中的競爭力。

河鋼邯鋼加快培育壯大戰略性新興產業，充分發揮省級高純特種氣體工程實驗室作用，積極開展航天級稀有氣體研制、電子芯片用特種氣體配制及稀有氣體分離設備關鍵部件研制，不斷加大氪、氖、氙、氬、氖等特種氣體以及混合氣體的市場開發力度，提升氣體產品競爭力。

針對芯片制造對氣體純度和雜質控制的極高要求，河鋼邯鋼高純特種氣體工程實驗室技術人員，突破了電子特氣國產化的諸多技術瓶頸，掌握了多項特氣提純關鍵技術，采用自主研發的全自動配氣裝置，配制出多種電子級混合氣，填補了國內空白。

此次供貨，河鋼邯鋼根據客戶工藝流程和所需刻蝕氣體的品質需求，制定了專屬工藝方案，嚴格過程質量控制，保證了產品高質量交付，獲得客戶高度認可。下一步，雙方還將就其他氣體產品開展合作。